設備說明：
磁控濺射真空鍍膜機是立式單開門非平衡磁控反應濺射鍍膜機。此設備所沉積的膜層在致密度、均勻度、純度、硬度等方面均有提高。廣泛應用于玻璃、陶瓷板、裝飾板和交通航空等領域的高檔裝飾和功能性薄膜。
主要特點：
1、 沉積速率快，溫升小，能較好的抑制打火及靶中毒現象；
2、 濺射釋放的高能量使膜層密度和附著力有顯著提高；
3、 觸摸屏幕+PLC，可實現全自動控制，自動/手動隨時切換；
4、 鍍膜室容積大，裝載量大，生產效率高。
5、 工件架采用移動車結構，濺射靶采用螺桿可在腔體內平行移動，產品均勻性好；
6、 整機配置合理，抽氣速率快，噪聲小，耗能低；
基本配置：
1、 鍍膜室、閥門、管道均采用不銹鋼制造，立式、單開門結構，真空室有效直徑自1800x2400x520mm；
2、 真空系統由機械泵、旋片泵、羅茨泵和帶冷阱高真空油擴散泵或分子泵組成；
3、 鍍膜系統采用1~8套圓柱（平面）靶，配有1~8個直流電源電源；
4、 輔助抽氣系統可采用一臺低溫水汽捕集器；
5、 充氣系統采用1~3路氣體流量計及流量控制（顯示）儀控制；
6、 電控系統設置電路過載、斷水、斷氣聲光報警裝置；
7、 控制系統（觸摸屏+PLC），實時顯示詳細參數，全自動控制整個生產過程，并自動存儲工藝參數；
8、 可根據客戶要求配多套靶源。
技術參數：
| 總重量 | 4500kg~6000kg |
| 名義功率 | 50KW~100KW |
| 抽速（新機、空載） | 2×10-3Pa≦8min |
| 極限真空（新機、空載） | ≦8×10-4Pa |
| 壓升率（新機、空載） | 0.67Pa/小時 |
| 工件移速 | 0~20r/min |
